▲ 이준호 교수. ⓒ
공주대학교 광공학과 이준호 교수(사진)는 지난 10월 27일 서울 코엑스인터컨티넨탈호텔에서 개최된 ‘제9회 반도체의 날’기념식에서 반도체산업의 발전과 국가 기술경쟁력 강화에 공로를 인정받아 한국반도체산업협회장상을 수여받았다.

이준호 교수는 반도체 검사 및 가공 관련 광학 분야 전문가로, 반도체 패턴 결함 검사 장비, 마스크/펠리클 검사 장비, 오버레이(overlay) 검사 장비 등의 국내 최초 개발에 참여하였으며, 다 수의 반도체 관련 국책 연구 개발 사업 (산업원천기술개발사업/신성장동력장비경쟁력강화사업/미래반도체소자원천기술개발사업)을 수행 완료 및 진행 중이다.

특히, 현재 산업기술평가원, 삼성전자(주) 및 넥스틴(주)의 연구비 지원을 받아 연구개발하고 있는 다중초첨 광학 현미경 검사법(Through-focus scanning optical miscosopy)은 최근 요구되고 있는 수 ~ 수십 nm수준의 3차원 반도체 공정 오류를 검사할 수 있는 획기적인 연구로 관심을 받고 있다.

본 연구에는 공주대 이준호 교수 외에 서울대 강명중 교수, 인천대 조중휘 교수, 고려대 김휘 교수가 참여하고 있다.

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